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사중극형 이차이온질량분석기

Quadrupole Secondary Ion Mass Spectrometer, Quadrupole-SIMS
  • Model

    ADEPT 1010

  • Production

    Physical Electronics(USA)

Compositions

  • Primary Ion : Cs+, O2+, Ga+
    Mass Range : 1 to 340 amu(H~U)
    Detection limits : ppb ~ ppm levels
    Lateral Resolution : 5㎛
    Depth Resolution : 1nm
    Remarks
    -Analyzing Shallow Implanted Dopants in Marerials
    -High Performance Quadrupole Mass Analyzer
    -Extreme Sensitivity to Shallow Depth Profile at a Short time

장비활용용도

표면분석, 깊이분석, 이미지분석
  • 시료 표면 내 미량 원소별 깊이 분석
    -반도체, 태양전지, LED 등 박막시료 내 극미량 원소의 농도 깊이 분석
    -절연성 고체시료 내의 불순물 정량 분포 분석
    -초박막, 다층 박막 시료의 극표면 구성성분의 깊이 방향 확산 거동 분석
이름 연락처 메일주소
옥정우 051-974-6130 jwok@kbsi.re.kr
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