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초미세 이차이온질량분석기

Nano Secondary Ion Mass Spectrometer, Nano-SIMS
  • Model

    Nano SIMS 50

  • Production

    CAMECA(France)

Compositions

  • Primary Ions : Cs⁺, O₂⁺, O⁻
    Mass Range : 1 to 360 amu(H~U)
    Detection limits : ppm level
    Lateral Resolution : 50nm
    Depth Resolution : 15nm

    Remarks
    - Normal Electron Gun for Insulator Sample
    - Parallel Acquisition of Five Masses
    - High Spatial Resolution Image Analysis at Small Area

장비활용용도

표면분석, 깊이분석, 이미지분석
  • 미세 영역 내 미량 원소 정성 정량 분석
    - 리튬 이차전지 활물질, 철강소재, 바이오 소재, 디스플레이 등 미세 영역 내 극미량 원소의 정성 및 이미지 분석
    - 미소 패턴 반도체 소자 내의 불순물 깊이 방향 분석
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강민지 051-974-6146 mjkang@kbsi.re.kr
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