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이차이온질량분석기

Secondary Ion Mass Spectrometer, SIMS
  • Model

    ims-7f Auto

  • Production

    CAMECA(France)

Compositions

  • Primary Ions : Cs⁺, O₂⁺, O⁻
    Mass Range : 1 to 360 amu(H~U)
    Detection limits : ppb ~ ppm levels
    Lateral Resolution : 1㎛
    Depth Resolution : 1 nm
    Remarks
    - Normal Electron Gun for Insulator Sample
    - RAE(Resistive Anode Encoder) Detector for Imaging Analysis
    - Ultimate Precision Depth Profile at Large Area

장비활용용도

표면분석, 깊이분석, 이미지분석
  • 시료 표면 내 미량 원소 정성 정량 분석
    - 반도체, 태양전지, LED, 철강 등 고체 시료 내 극미량 원소의 정성 및 정량 분석
    - 반도체 내부 극미량 원소의 Doping 및 Implantation 농도 분석
    - 다층 박막의 표면 및 계면 특성 분석 및 원소별 깊이 방향 확산 거동 분석
이름 연락처 메일주소
홍태은 051-974-6109 tehong@kbsi.re.kr
변미랑 051-974-6120 bmr12@kbsi.re.kr
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