표면분석

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고성능엑스선광전자분광기

High-performance X-ray Photoelectron Spectrometer, HP-XPS
  • Model

    K-ALPHA+

  • Production

    Thermo Scientific(UK)

Compositions

  • X-ray Source
    -Microfocused monochromotaed Al-Kα (1486.6 eV)

    Resolution
    -High resolution electron analyzer
     :on Ag 3d5/2 peak : ≤ 0.5 eV FWHM

    X-ray spot size
    -X-ray monochromator with user selectable spot size from 30㎛ to 400㎛

    Depth profile
    -Monoatomic Mode(inorganic depth profile):0.2 keV to 4keV Cluster mode(organic depth profile):2keV to 8keV

장비활용용도

표면분석, 깊이분석, 이미지분석
  • 고체시료의 표면 및 계면 분석
    -고체 시료의 표면의 정성 및 정량분석
    -원소의 화학적 결합상태 분석
    -원소의 분포상태 확인
    -깊이 방향에 대한 성분 및 화학적 결합상태 분석
    -Ar Ion Cluster Gun을 활용한 유기소재에 대한 깊이 방향 성분 및 화학적 결합상태 분석
이름 연락처 메일주소
배종성 051-974-6129 jsbae@kbsi.re.kr
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