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글로우방전분광기

Glow Discharge Spectrometer, GDS
  • Model

    JY 10000 RF

  • Production

    HORIBA JY(France)

Compositions

  • Polychromator (Simultaneous)
    -Wavelength range : 110 - 900 nm
    -Grating density : 3000 gr/mm
    -Resolution : 14 pm
    -Detector : HDD(Dynamic range 5 x 1010

    Monochromator (Sequential)
    -Wavelength range : 160 - 510 nm
    -Grating density : 3600 gr/mm
    -Resolution : 0.009 nm

    RF generator (normal & pulsed)

장비활용용도

표면분석, 깊이분석, 이미지분석
  • 금속 및 세라믹 시편 화학조성 분석 및 코팅 시편의 깊이방향(~100 ㎛) 화학조성 분석

    -금속 합금(Alloy)의 주원소 및 미량 원소 정성, 정량분석
    -반도체 Multi Layer 시편의 Depth Profile (계면 분석 포함)
    -다양한 코팅시편 (전도체 및 부도체)의 깊이방향 원소분포 분석
    -금속 시편의 산화, 질화, 탄화 및 부식층 분석
    -수소(H) 원소 측정 가능
이름 연락처 메일주소
윤장희 051-974-6140 jhyoon@kbsi.re.kr
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