표면분석

HOME 분석지원 표면분석

페러렐각분해 X-선 광전자분광기

Parallel AR-XPS(Angle-Resolved XPS) System, AR-XPS
  • Model

    Theta Probe

  • Production

    Thermo Scientific(UK)

Compositions

  • X-ray Source
    -Monochromated Al-Kα (1486.6 eV)

    Resolution
    -High resolution electron analyzer
     :on Ag 3d5/2 peak : ≤ 0.5 eV FWHM

    X-ray spot size
    -X-ray monochromator with user selectable spot size from 30㎛ to 400㎛

    Fast angle-resolved XPS
    -Simultaneously collects from multiple angles
    -No need for sample tilting

장비활용용도

표면분석, 깊이분석, 이미지분석
  • 고체 시료의 표면 및 계면 분석
    -고체 시료의 표면의 정성 및 정량분석
    -원소의 화학적 결합상태 분석
    -원소의 분포상태 확인
    -깊이 방향에 대한 성분 및 화학적 결합상태 분석
    -각도에 따른 비파괴적인 깊이 방향에 대한 성분 및 화학적 결합상태 분석
이름 연락처 메일주소
배종성 051-974-6129 jsbae@kbsi.re.kr
목록