표면분석

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비행시간차 이차이온질량분석기

Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometer, TOF-SIMS
  • Model

    TOF-SIMS

  • Production

    ION-TOF(Germany)

Compositions

  • High sensitivity : ppm-ppb range
    High lateral resolution > 100nm
    High depth resolution > 1nm
    High sensitivity : ppm-ppb range
    High lateral resolution > 100nm esolution > 100nm
    High depth resolution > 1nm
    High sensitivity : ppm-ppb range
    High lateral resolution > 100nm esolution > 100nm
    High depth resolution > 1nm

장비활용용도

표면분석, 깊이분석, 이미지분석
  • 표면분석, 깊이분석, 이미지분석
    모든 원소/분자 동시 검출
    박막, 반도체, OLED, 태양전지 등 소재/재료 등 표면 성분분석
    고분자. 분말 성분분석
    깊이에 따른 이온 분포도 분석
    Ar-cluster 보유 - 유기물 분석가능
    3D image 구현 - 다층박막에 유용
    바이오 재료 이미지분석
이름 연락처 메일주소
진종성 051-974-6114 jsjin@kbsi.re.kr
성지영 051-974-6118 jysung@kbsi.re.kr
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