구조분석

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고분해능주사전자현미경

Analytical High-Resolution Scanning Electron Microscope, HR-SEM
  • Model

    SU-70

  • Production

    Hitachi(Japan)

Compositions

  • Resolution
    -Accelerating Voltage 15kV WD = 4mm...1.0nm(220,000X)
    -Accelerating Voltage 1kV WD = 1.5mm...2.0nm(120,000X)

    Magnification
    -x 30 -x800,000

    Electron optics
    -Electron gun : ZrO/W Schottky Gun
    -Energy Dispersive X-ray Spectrometer
    -Electron Backscatter pattern(EBSD)
    -Accelerating voltage : 0.5 to 30kV
    -Extracting Voltage : 0 to 6.5kV

장비활용용도

표면분석, 깊이분석, 이미지분석
  • 나노사이즈의 입자, 박막두께 분석
    -시료의 형상관찰
    -다층 박막의 두께분석
    -소재의 결정립 분석
    -시료의 구조분석(Electron Beam Scattering Diffraction)
    -EDS를 이용한 시료의 정성, 정량 분석 및 원소 Mapping
이름 연락처 메일주소
최윤주 051-971-6112 yjchoi0512@kbsi.re.kr
김종필 051-974-6115 jpkim@kbsi.re.kr
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