표면재질

HOME 연구분야 표면재질

VIVA 활용서비스

01맞춤형
이온주입
서비스

  • 재료개질 및 연계 분석 서비스 제공

02이온원 및
가속기
관련 기술 개발

  • 다목적 이온원 개발 기술
  • 초전도/상전도 자석 개발 기술
  • 이온빔 전송/제어 기술
  • 고주파 관련 기술
  • 선형가속기 개발 기술

03VIBA
장치개발

  • 초전도 28GHz ECR 이온원
  • 빔 전송/진단 장치
  • 이온주입용 샘플 챔버

재료개질 정보

재료개질 정보
주입이온 N O Ar He
에너지 10keV~50keV 10keV~60keV 10keV~80keV 10keV~20keV
주입량 ~1.0e17 atoms/㎠ ~1.0e17 atoms/㎠ ~1.0e17 atoms/㎠ ~1.0e17 atoms/㎠
크기 10mmX10mm
온도 상온~1000℃
참고
  • 가스 상태 이온 주입 가능
  • 맞춤형 에너지, 도즈 가능